真空高低溫探針臺
探針臺的系統(tǒng)組成包括：
真空探針臺體
溫控系統(tǒng)
交變磁場
單筒顯微鏡
體視顯微鏡
觀察攝像組件
直流探針
開爾文探針
射頻/微波探針
光波探針
光學隔振臺
轉接頭
其他升級組件
系統(tǒng)結構與配置：
樣品臺：2英寸圓形或方形，表面鍍金，支持電懸空或背棚電極，漏電精度 ≤100fA
屏蔽層：6英寸樣品臺屏蔽層
觀察視窗：高透光，直徑60mm
波紋臂接口：6個測試接口
隔振系統(tǒng)：隔振效率 ≥98%
探針熱錨：樣品臺與屏蔽保護層一體化設計
溫控性能：
溫控范圍：80K ~ 400K/600K/800K/1000K（可選）
溫控分辨率：10mK
溫控穩(wěn)定度：±100mK
溫控回路：雙路溫控
控制軟件：全自動控制，支持單點、單段、多段、自定義程序控溫，兼容多種測試儀器軟件
測試與定位精度：
顯微精度：3.5微米
探針臂位移：XYZ三維行程 75mm×50mm×25mm，位移精度1微米
探針針尖可選：1.5/5.0/10.0/20.0微米
電學與光學測量精度：
電流測量精度：
直流探針：≤100fA
開爾文探針：≤10fA
電容測量精度：
直流探針：≤10fF
開爾文探針：≤10fF
電脈沖測量精度：≤10nS
光脈沖測量范圍：200nm ~ 2000nm
